主要规格及技术指标

分辨率：点分辨率 0.19 nm；线分辨率 0.102 nm；信息分辨率 0.14 nm.

加速电压：20 - 200 kV；放大倍数： 25 – 100万倍；X射线能谱分辨率： 127eV（Be – U）三维重构 3D: -70 o ---70 o

主要功能及特色

观察各种材料的微观结构并对样品进行纳米尺度的微区分析，如：形貌观察（TEM），高分辨电子显微学研究（HRTEM），选区电子衍射（SAED），X射线能谱分析（EDS），原子序数Z-衬度成像( HAADF – STEM )， HRSTEM，三维重构等。